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真空滲碳爐是將工件裝入爐中,抽真空并加熱,使?fàn)t內(nèi)凈化，達(dá)到滲碳溫度后通入碳?xì)浠衔铮ㄈ缫?炔）進(jìn)行滲碳，經(jīng)過一定時(shí)間后切斷滲碳劑，再抽真空進(jìn)行擴(kuò)散。可實(shí)現(xiàn)高溫滲碳（1040℃),縮短滲碳時(shí)間。滲層中不出現(xiàn)內(nèi)氧化，也不存在滲碳層表面的含碳量低于次層的問題，并可通過脈沖方式真空滲碳，使盲孔和小孔獲得均勻滲碳層。