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產(chǎn)品用途：主要用于半導(dǎo)體、太陽能電池生產(chǎn)中的PECVD、等離子體清洗等設(shè)備。可用于間歇式脈沖放電工作模式。

技術(shù)特點(diǎn)：
儲能低，不超過1MJ/KW；
功率密度大；
負(fù)載范圍寬，分七檔負(fù)載匹配調(diào)節(jié)，負(fù)載適應(yīng)
范圍寬；
正弦波輸出，諧波小；
優(yōu)異的水冷式設(shè)計；
間歇式脈沖功率輸出；
具有過壓、過流、開路及短路等完善監(jiān)控措施
與保護(hù)功能；
優(yōu)良的電流、電壓打弧控制能力；
成膜質(zhì)量好；
實(shí)現(xiàn)功率、電流及電壓等控制方式。

電氣規(guī)格：
電壓頻率：45-65HZ；
輸出頻率：40KHZ，±0.01%；
電源效率：0.85全功率輸出；
功率因素；0.90全功率輸出；
輸出功率：5KW；
負(fù)載匹配：七檔，各檔位5KW。

主要參數(shù)：
輸出功率：500W- 5KW連續(xù)可調(diào)；
輸出頻率：40KHZ；
輸出最 大電壓有效值：1100V；
負(fù)載阻抗范圍：19Ω- 182Ω；
功率穩(wěn)定度：優(yōu)于1.0%；
輸入電壓：380V+10%，-15%，三相接地（無中線）。

物理規(guī)格與安裝：
外形尺寸：長635mmX寬482mmX高177mm；
重       量：36kg；
安裝方式：19英寸機(jī)架；
輸出接頭：雙輸出，從接線盒引出并帶有保護(hù)蓋；
輸出電纜：6-9平方毫米
交流輸入方式：4線DIN接頭
用戶口連接器：D型pin25，母接頭，RS485通信接口；
冷卻水接頭：3/8英寸的NPT母接頭。