開啟空調，保持測量溫度在20攝氏度左右，濕度應該小于或等于2%RH，然后接通并打開冷凍干燥機，接著把壓縮機空氣開關打開，看看氣壓是不是在0.45Mpa，如果不在此范圍內，還要檢查氣源，接著把導軌清洗好，最好用綢布蘸取酒精來清洗，接著把其他所有物件進行清理，把臺面用無水酒精擦洗一遍。接通電源，開機，啟動計算機后，把桌面上的軟件圖標啟動，然后打開伺服開關，把測量儀回零，再開始進行測量機校準。按照操作步驟進行測量機校準，使他進入正常的工作狀態，并把每一天的工作數據保存好。一天工作結束后，把軟件關閉，然后關閉計算機，關閉電源氣源。

在使用時應先查看零件的圖紙，對測量的要求和方法做到準確的研究和了解，為檢測計劃做出正確的規劃以及對程序進行很好的檢測。接下來，在吊裝放置被測量的零件時，要特別遵守吊車的安全使用規則，保護測量的器件不受損壞，使零件在最小誤差內固定。在進行測量時，要在按下“緊急停”按鈕在進行，操作過程中注意輕拿輕放，用力適當，在更換后進行試運行時檢測保護功能是否正常也是十分重要的。在實施測量的過程中，對操作人員的要求也是極高的，操作人員應集中注意力，首次運行時要注意減速運行，在確定編程無誤后恢復正常速度。

檢查是否有阻礙機器運行的障礙物；接通系統主電源，并將開關旋至“開”的位置；開始測量，使用三坐標測量儀進行操作時，一旦發生不正常情況，應及時停止，并保護現場，對事故原因進行分析處理，待查找出原因后恢復正常工作、繼續運行。檢測完成后，應將該程序運行擦參數進行存檔并說明，所以操作完成后，要做好事后處理工作，拆卸零件，情節臺面。在使用之后要進行適當的清理，并且后期的包養也是十分重要的。 將探針系統移動到儀器右后上方，目視觀察不到Z軸光柵尺； 按下緊急按鈕，關掉氣源、電源后再旋起。