真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節(jié)、功率調節(jié)等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。

真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。真空爐，即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質排出，使爐腔內(nèi)壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。真空環(huán)境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

真空爐即真空熱處理爐，分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐等。能耗顯著低于鹽浴爐。現(xiàn)代先進的真空爐加熱室采用優(yōu)質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。