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派瑞林Parylene涂層在微機電、半導體、傳感器、換能器應用,有知道的嗎?

2019-08-14 14:14:15

派瑞林Parylene涂層不僅有優異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度,同時具有優良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續無缺陷和無其它填充物的薄膜。Parylene具有優異的尺寸穩定性和低溫性能,在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此,Parylene可用作微機電,微馬達的表面處理和絕緣體。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質層,能提供安全、穩定的防護。派瑞林Parylene涂層在微機電、半導體、傳感器、換能器應用如下:微電子、半導體:使用高純的Parylene作鈍化層和介質層,能提供安全、穩定的防護。傳感器和換能器:自動化控制和惡劣環境下使用的傳感器、換能器, Parylene涂層防護可以提高環境適應性和可靠性,涂層無針孔,且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管,適用于各種惡劣環境。 

Parylene在傳感器領域中的應用,除了作絕緣介質外,更多用作防護材料,它能耐酸、堿和有機溶劑,對水汽和鹽霧等惡劣環境有極好的阻隔防護能力,用極薄的涂層提供良好的防護。Parylene能在0.2um厚時就完全沒有針孔,5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓,又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料,化學惰性和阻隔性能也好,因此在微電子機械系統中,除了作電介質材料外,還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。我知道就這么多,希望對你有所幫助!

派瑞林Parylene涂層對微電子機械系統的使用環境有很好的相容性和防護性,在微細結構中仍具有優良的電性能和物理機械性能;與其它微細結構材料有很好的相容性;能進行微米級微細制作和加工;所以在微機電、半導體、傳感器、換能器有著廣泛的應用。